行業(yè)解決方案
半導體行業(yè)
生產(chǎn)實力
為更好服務(wù)半導體行業(yè)客戶,國機密封設(shè)立了專業(yè)的生產(chǎn)車間,車間擁有萬級潔凈度的生產(chǎn)區(qū)域和百級潔凈度的清洗包裝區(qū)域,可根據(jù)客戶需求定制個性化密封產(chǎn)品。
研發(fā)能力
研發(fā)設(shè)備方面,國機密封擁有國內(nèi)唯一一家國家級橡塑密封研究平臺,擁有超過3500m2的中心實驗室,擁有全面的密封材料及密封產(chǎn)品評價能力,包括臺架測試,全工況老化測試及壽命評估能力等。
人才隊伍
研發(fā)團隊建設(shè)方面,國機密封擁有10名教授級高工,以及各級職稱工程師115名。成立專為半導體行業(yè)服務(wù)的技術(shù)團隊,在材料選擇、尺寸選型、生產(chǎn)制造、售后服務(wù)等環(huán)節(jié)提供專業(yè)的技術(shù)支持。
特色產(chǎn)品
國機密封密封產(chǎn)品具有優(yōu)異的耐等離子、耐高溫、耐酸堿腐蝕等特點,廣泛應(yīng)用于芯片制造的三大制程。結(jié)合刻蝕、沉積、化學機械拋光、熱處理、清洗等工藝的不同特性,提供相應(yīng)的密封解決方案。
針對刻蝕、沉積等對等離子體析出和耐化學腐蝕有要求的工藝,推薦使用70T01、70T02、75W01等型號產(chǎn)品。針對沉積、氧化、熱處理等對耐溫要求高的工藝,推薦使用70T01、5B01等型號產(chǎn)品。其他濕制程工藝推薦使用70B01等型號產(chǎn)品。(詳見產(chǎn)品宣傳手冊)